真空速凝炉的应急措施 　　真空速凝炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，小编就为您介绍压缩空气的停止、停电、加热电源掉电的应急措施。 　　一、压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，真空速凝炉处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。 　　二、停电 　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。 　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动真空速凝炉，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。 　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。 　　三、加热电源掉电 　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，真空速凝炉的压力表会报警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。 　　4、若真空速凝炉炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

　　真空烧结炉热调试方法 　　真空烧结炉以其内部优异的工件处理环境而被用作各种热处理和加热工艺，同时可以做到对外部环境无污染，十分适用于我国现阶段的环保需求，而且通过高度的机电一体化程度，可以做到在温度测控精度提高的基础上，使工件移动、气压功率调节等通过编程进行预先设定。 　　当我们购买真空烧结炉全套设备按技术要求安装完毕后，无缺件并有良好的接地时，正确的调试才能保证接下来的各项使用工作顺利进行，下面随八佳小编一起看看具体的真空炉的热调试方法要怎么做吧。 　　1、在炉子真空度不低于13.3Pa的情况下通电烘炉，在真空烧结炉炉温缓慢升至1300℃的整个过程中，炉子真空度不应低于13.3Pa，经过充分烘烤 ，除气后，压升率达到技术要求时即可。 　　2、极限真空度测量：不低于6×1.0-4Pa。 　　3、工作真空度测量：不低于2.7Pa(在1000空炉时)。 　　4、压升率测量：在真空烧结炉加热至1200℃时，经过充分烘烤除气后，炉温冷却至100℃以下时再测压升率，应达到0.5Pa/h。 　　当冷却室真空度为1.33Pa时，关闭真空烧结炉真空隔热门、冷却室真空阀，并立即向冷却室炉充入氮气0.06MPa时，时间应在 2.5(秒)完成，并且加热室的真空度不得低于670Pa。