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气相沉积炉的优势有哪些
气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室,水冷电极,测温热电偶,是处理工件的核心部分。下面是关于炉子优势介绍。
电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;
气相沉积炉采用智能压力调控,压力波动小;
全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
多通道工艺气路,流程均匀,无沉积死角,沉积效果好;
多级尾气处理系统,环境友好,能很快收集焦油及副产物,易清理;
气相沉积炉可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高。
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真空熔炼炉冶金特点是什么 真空熔炼炉的真空熔炼是使在常压下进行的物理化学反应条件有了改变,这主要体现在气相压力的降低上。只要冶金反应中有气相参加,而且反应生成物中的气体摩尔数大于反应物中的气体摩尔数的数值时,若减小系统的压力,则可以使平衡反应向着增加气态物质的方向移动,这就是真空熔炼中物理化学反应的根本特点。 真空熔炼炉的大气熔炼和浇注的主要缺点之一是合金成分(主要是一些比较活泼的元素)由于烧损不易准确控制,而真空熔炼不受周围气氛污染,金属液与大气中的氧和氮脱离接触,所以真空熔炼能严格控制合金中活泼元素,如铝、钛等的含量,将合金成分控制在很窄的范围内,因而能保证合金的性能、质量及其稳定性。 大气熔炼碳氧反应对金属液起着除气作用和机械搅拌作用,但由于碳的脱氧能力不强,不能单独用作脱氧剂,往往要用硅、铝等金属脱氧剂进行沉淀脱氧。在真空熔炼中,由于气相压力低,且碳氧反应生成的CO气泡能够不断的被抽走,而使平衡向生成CO的方向移动,即[C]+[O]={CO}反应不断向右方进行,从而提高了碳的脱氧能力。大量实践数据表明:真空熔炼炉的真空熔炼与大气熔炼相比较,碳的脱氧能力约提高100倍。 当真空烧结炉真空熔炼镍基合金时,将合金的氧含量降低到20×10以下是不难做到的。真空下用碳脱氧,不仅具有高的脱氧能力,而且其脱氧产物是气体,易于排除,而不沾污金属熔池,这比用硅、铝等生成固态脱氧产物的脱氧剂要优越得多,因此在真空熔炼中,碳是理想的脱氧剂。
影响真空甩带炉温度外传递的因素有哪些呢 根据温度场分布方程可知,真空甩带炉整个温度场的分布主要取决于几个方面的约束。即材料的平均导热系数入,材料的平均密度P和平均比热熔度。 影响真空甩带炉温度向外传递的因素,包括以下3点: 在该设计中,主要采用内热源形式。真空甩带炉内部热源发热,温度由里至外传递。其强度大小直接影响炉内温度分布情况。可以看出,当内热源吼越高时,一定点的温度越高,同时一定温差(△T)的分布区域(r)越大。所以,在实际生产过程中,可以通过控制炉芯的表面负荷亦即炉芯功率控制炉内温度分布。 反应料距炉芯的距离(△r),当炉芯功率一定时,即内热源的强度一定时,距离炉芯越远的反应料,温度越低,可能无法达到反应所需温度。距离真空甩带炉炉芯越近,温度越高,越利于反应进行。 另外,真空熔炼炉炉料的散热性能越好,内部热量向外流失越快,热量很轻易就损耗在反应料之外,使一定点的温度降低。但是,如果反应料的散热性能不好,则利于热量的汇聚,使得热量向外传递时间加长,有利于反应料对热量的吸收和反应地进行,提高一定点的温度。应都在高真空条件下(4~13Pa)进行,反应温度1200℃左右,芯温度很快就能达到所需值,因此反应时间的长短取决于反应料的厚度,即炉芯外围反应料到炉体保温层的距离。可以通过设计炉体尺寸控制供电时间。
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