真空烧结炉中真空泵的替换步骤有哪些　　真空烧结炉中真空泵的清洗：泵油随着烧结炉中真空泵的运转恶劣，因而需要通过油视窗查明的污浊程度及粘度情况，并及时替换烧结炉中泵油。替换烧结炉中泵油的周期：每六个月换油清洗一次。 　　泵油替换步骤如下：　　1、打开泵的吸气管，5秒后使其开始运行。真空烧结炉中泵内剩下的泵油容易被排除。　　2、先拆下真空烧结炉的排气管，再打开放油阀，然后倒出泵油。　　3、关闭排油阀，把新的真空泵油从加油口注入。　　4、如果真空烧结炉中泵油的污染非常严重，必须添加些新泵油，通过几分钟运转使其得到清洗，假如一遍清洗不到位，必须反复多清洗几遍。　　5、换上新泵油后，让真空烧结炉中泵开机运行，等烧结炉的温度升高以后在确认真空极限压力。　　6、检修真空甩带炉过程需清洗过滤网。

　　真空速凝炉的应急措施 　　真空速凝炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，小编就为您介绍压缩空气的停止、停电、加热电源掉电的应急措施。 　　一、压缩空气的停止 　　1、压缩空气异常报警时，真空速凝炉处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。 　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。 　　二、停电 　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。 　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动真空速凝炉，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。 　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。 　　三、加热电源掉电 　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，真空速凝炉的压力表会报警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。 　　4、若真空速凝炉炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。